三维探针台+显微镜

　　PSP.3A.20RN.01B型三维探针台是PSP.6A.12RN.01A型三维探针台的升级版本，采用比HDS-MLF精度更高、控制效果更好的HDS-HF1系列大推力马达进行驱动。具备更稳定的性能及更为优异的可靠性，是实验室及生产检测环节高精度运动检测的最佳选择。
　　该产品除用于高精度的各种电学性能检测外，更可以与其它可选配件搭配组合成光学耦合或光纤对接用平台。
　　
　　应用领域：
　　根据测试样品分类  根据应用分类
　　晶圆测试  射频测试
　　LED测试  高温环境测试
　　功率器件测试  低温真空测试
　　MEMS测试  低电流（fA）测试
　　PCB测试  I-v/c-v/p-iv测试
　　液晶面板测试  高压，大电流测试
　　太阳能电池片测试  特殊气体环境测试
　　材料表面电阻测试  强磁环境测试
　　纳米器件测试  辐射环境测试
　　
　　PSP.3A.20RN.01B规格参数
　　行程（单轴行程）  20mm（X轴＆Y轴＆Z轴）
　　马达  HDS-HF1
　　最小步长  0.1um（开环系统）
　　最大速度  200mm/s
　　最大负载  50g
　　控制方式  标准品自带HDS控制驱动一体机，配三轴霍尔操纵杆
　　导轨类型  IKO直线滚珠导轨
　　结构材质  铝合金6061-T6（不锈钢可选）
　　装配质量  200g
　　标准产品为一套三维探针台，一台HDS控制驱动一体机及一个专用的三轴霍尔操纵杆，如前页图片所示。
　　可选配件：
　　15、  光栅闭环系统
　　16、  不同规格探针
　　17、  压电超精密XY轴样品载物台或手动XY样品载物台
　　18、  不同规格显微观察系统及显微镜万向连接装置
　　19、  可定制不同规格尺寸安装底座及连接底板
　　20、  真空吸附型卡盘（不锈钢、黄铜材质可选）
　　21、  积分球夹具
　　22、  视频CCD系统
　　23、  封装器件夹具
　　24、  PCB板夹具
　　25、  样品加热系统
　　26、  光学隔振平台
　　27、  屏蔽箱
　　28、  强磁场及高真空度使用请直接咨询厂商以获得更加详细的信息
　　
　　使用环境：
　　实验室、无尘室、真空环境使用（具体细节请咨询厂商）
　　环境温度：0–50°C
　　保存温度：-40°C-＋70°C
　　湿度：0–80%无结露